[반도체 시설] 시설 관련 용어 모음(22.09)
- 시설관련 - FAB (Fabrication) : 반도체 공장 반도체 생산시설 - UT (Utility) : 유틸리티 ut동의 ut 는 유틸리티[Utility]의 약자이고 FAB동 [반도체 제조 : fabrication 약자]의 부속 건물임. 유틸리티라는 건 공기,질소,진공,순수,전원 등 반도체 공정에 필요한 요소를 통틀어서 말한다. - CUB (Central Utility Building) : 용역동 FAB동 각 장비에 필요한 냉각수, 스팀, 진공, 초순수, 케미칼 등을 공급하거나 환수,재활용하는 시설 - GCS (Gas Chemical System) : 반도체 생산 공정에 필요한 GCS(Specialty Gas, Chemical) 소재를 적정 압력, 유량, 순도 보존 상태로 공급하는 설비 시스템 일..